Lehrstuhl für Integrierte Systeme und Photonik

19.05.2021 Veröffentlichung in der Fachzeitschrift: Nanomanufacturing: "Greyscale 2D nanograting fabrication by multistep nanoimprint lithography and ion beam etching"

28.05.2021

  • J. Buhl, D. Yoo, M. Köpke, M. Gerken, "Greyscale 2D nanograting fabrication by multistep nanoimprint lithography and ion beam etching",  Nanomanufacturing 2021, vol. 1, no. 1, p 39-48, May 2021
    Link: https://doi.org/10.3390/nanomanufacturing1010004